Heizung mocvd Reaktor mat Induktioun
Induktiounsheizung Metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) Reaktoren ass eng Technologie fir d'Heizeffizienz ze verbesseren an d'schiedlech magnetesch Kupplung mam Gasinlet ze reduzéieren. Konventionell Induktiounsheizung MOCVD Reaktoren hunn dacks d'Induktiounsspiral ausserhalb vun der Chamber, wat zu manner effizienter Heizung a potenziell magnetescher Amëschung mam Gasliwwerungssystem resultéiere kann. Rezent… méi liesen